特許
J-GLOBAL ID：201103003596281020

基板搬送装置及び基板搬送方法並びに記憶媒体

発明者：
道木 裕一

道木 裕一 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (2件)： 井上 俊夫 ,  三井田 友昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-023502
公開番号（公開出願番号）：特開2011-161521
出願日： 2010年02月04日
公開日（公表日）： 2011年08月25日
要約：
【課題】基板載置部から基板を受け取ったときに基板の姿勢が異常な状態であるか否かを確実に検出すること。【解決手段】前記フォーク3Aを基体31に沿って前進させ、ウエハWを保持する突き上げピン73に対して上昇させることにより、当該突き上げピン73上のウエハWをフォーク3Aに受け取る。このときに前記保持爪30A〜30Dの各々に設けられた歪みセンサ4A〜4Dにより、保持爪30A〜30Dに上から荷重が加わったときの当該保持爪30A〜30Dの歪み量を検出する。各々の歪みセンサの歪み量に基づいて、ウエハWの姿勢が正常であるか否かを判断し、ウエハWの姿勢が異常であると判断したときに、前記フォーク3Aの後退を禁止する。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
駆動部により昇降、進退自在に構成され、基板の周囲を囲むように設けられた保持枠と、 この保持枠の内縁から各々内側に突出すると共に、当該内縁に沿って互いに間隔を開けて設けられ、前記基板の裏面側周縁部を載置するための3個以上の保持部と、 これら保持部の各々に設けられ、保持部に上から荷重が加わったときの当該保持部の歪み量を検出する歪みセンサと、 前記保持枠を前進させ、前記基体を前記基板載置部に対して相対的に上昇させてから、その上に基板が載置される基板載置部上の基板を受け取ったときに、各々の歪みセンサの歪み量に基づいて、基板の姿勢が正常であるか否かを判断する判断手段と、 基板の姿勢が異常であると判断したときに、前記保持枠の後退を禁止する手段と、を備えたことを特徴とする基板搬送装置。
IPC (3件)：
B25J 15/08 ,  H01L 21/677 ,  B25J 13/08
FI (3件)：
B25J15/08 W ,  H01L21/68 A ,  B25J13/08 Z
Fターム (32件)：
3C007DS01 ,  3C007ES17 ,  3C007JU08 ,  3C007KS30 ,  3C007KV06 ,  3C007KX07 ,  3C007NS12 ,  3C707DS01 ,  3C707ES17 ,  3C707JU08 ,  3C707KS30 ,  3C707KV06 ,  3C707KX07 ,  3C707NS12 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA06 ,  5F031GA36 ,  5F031GA48 ,  5F031GA54 ,  5F031JA08 ,  5F031JA17 ,  5F031JA22 ,  5F031JA27 ,  5F031JA45 ,  5F031MA02 ,  5F031MA03 ,  5F031MA06 ,  5F031PA02
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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