特許
J-GLOBAL ID:201503022919932143
イリジウム製坩堝を用いた複合酸化物単結晶の製造方法と白金坩堝を用いた複合酸化物原料の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
上田 章三
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-233861
公開番号(公開出願番号):特開2015-093800
出願日: 2013年11月12日
公開日(公表日): 2015年05月18日
要約:
【課題】イリジウム製坩堝の早期におけるクラックの発生を抑制し、該坩堝の長寿命化が図られるガーネット系単結晶等複合酸化物単結晶の製造方法を提供すること。【解決手段】育成炉内に配置されたイリジウム製坩堝に複合酸化物の原料を収容し、該複合酸化物の原料を融解させた後、原料融液から複合酸化物単結晶を育成する複合酸化物単結晶の製造方法において、原料に含まれるPt(白金)濃度が60ppm未満である複合酸化物の原料を適用し、かつ、イリジウム製坩堝の温度が300°C〜1000°Cの温度域にあるとき、育成炉内の雰囲気を、酸素を含まない不活性ガス雰囲気に設定することを特徴とし、イリジウム製坩堝の酸化やPt不純物に起因したクラックの発生を抑制することができる。【選択図】なし
請求項(抜粋):
育成炉内に配置されたイリジウム製坩堝に複合酸化物の原料を収容し、該複合酸化物の原料を融解させた後、上記複合酸化物の原料融液から複合酸化物単結晶を育成する複合酸化物単結晶の製造方法において、
原料に含まれるPt(白金)濃度が60ppm未満である複合酸化物の原料を用いると共に、イリジウム製坩堝の温度が300°C〜1000°Cの温度域にあるとき、イリジウム製坩堝が配置された上記育成炉内の雰囲気を、酸素を含まない不活性ガス雰囲気に設定することを特徴とする複合酸化物単結晶の製造方法。
IPC (3件):
C30B 29/28
, C30B 29/30
, C30B 15/10
FI (3件):
C30B29/28
, C30B29/30 B
, C30B15/10
Fターム (16件):
4G077AA02
, 4G077BC23
, 4G077BC28
, 4G077BC37
, 4G077CF10
, 4G077EA01
, 4G077EA06
, 4G077EC05
, 4G077EC10
, 4G077EG02
, 4G077HA01
, 4G077HA11
, 4G077PA03
, 4G077PB01
, 4G077PB09
, 4G077PD01
引用特許:
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