特許
J-GLOBAL ID:201503022986371024

振動子、電子デバイス、電子機器および移動体

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 上柳 雅誉 ,  宮坂 一彦 ,  渡辺 和昭
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-158643
公開番号(公開出願番号):特開2015-031512
出願日: 2013年07月31日
公開日(公表日): 2015年02月16日
要約:
【課題】振動腕を大きく振動させることで角速度、加速度などの検出能力を高め、更に分極を容易にする振動子を得ることを目的とする。【解決手段】基部と、第1および第2振動腕と、を備え、前記第1振動腕には、第1圧電体、および前記第1圧電体に対して前記第2振動腕側に配設される第2圧電体と、前記第2振動腕には、前記第2振動腕の延出方向に配設される第3圧電体、および前記第3圧電体に対して前記第1振動腕側に配設される第4圧電体と、を有し、前記第1〜4圧電体は、下部電極、圧電膜、および上部電極を備え、前記第1、3圧電体に備える前記下部電極とが接続された第1接続電極と、前記第1、3圧電体に備える前記上部電極とが接続された第2接続電極と、前記第2、4圧電体に備える前記下部電極と、が接続された第3接続電極と、前記第2、4圧電体に備える前記上部電極とが接続された第4接続電極と、を前記基部に備えている振動子。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基部と、 前記基部から延出している第1振動腕および第2振動腕と、を備え、 前記第1振動腕の少なくとも一方の主面には、前記第1振動腕の延出方向に配設されている第1圧電体、および前記第1圧電体に対して前記第2振動腕側に配設されている第2圧電体と、を有し、 前記第2振動腕の少なくとも一方の主面には、前記第2振動腕の延出方向に配設される第3圧電体、および前記第3圧電体に対して前記第1振動腕側に配設されている第4圧電体と、を有し、 前記第1圧電体、前記第2圧電体、前記第3圧電体および前記第4圧電体は、それぞれ前記主面側から順に積層されている下部電極、圧電膜、および上部電極を備え、 前記第1圧電体に備える前記下部電極と、前記第3圧電体に備える前記下部電極と、が電気的に接続された第1接続電極と、 前記第1圧電体に備える前記上部電極と、前記第3圧電体に備える前記上部電極と、が電気的に接続された第2接続電極と、 前記第2圧電体に備える前記下部電極と、前記第4圧電体に備える前記下部電極と、が電気的に接続された第3接続電極と、 前記第2圧電体に備える前記上部電極と、前記第4圧電体に備える前記上部電極と、が電気的に接続された第4接続電極と、を前記基部に備えている、 ことを特徴とする振動子。
IPC (1件):
G01C 19/560
FI (1件):
G01C19/56 107
Fターム (10件):
2F105AA02 ,  2F105AA03 ,  2F105AA06 ,  2F105AA08 ,  2F105BB02 ,  2F105BB13 ,  2F105BB15 ,  2F105CC01 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06
引用特許:
審査官引用 (5件)
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