特許
J-GLOBAL ID：201503023430357789
放射源及びリソグラフィ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
稲葉 良幸
, 大貫 敏史
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-555982
公開番号（公開出願番号）：特表2015-508217
出願日： 2013年01月03日
公開日（公表日）： 2015年03月16日
要約：
本発明は、燃料小滴流ジェネレータの始動を促進する方法及び装置を提供する。始動段階中、燃料小滴流ジェネレータは、燃料小滴が下方に放出され、これによって重力が小滴流の確立を補助するような位置に配置される。小滴は可視化システムを使用して監視され、小滴流が所望の特性を有していると判定されると、小滴流ジェネレータは、小滴流が水平方向に放出される定常状態使用時の第2位置に移動される。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
燃料小滴流を生成する燃料小滴エミッタを備える放射源燃料小滴流ジェネレータであって、前記燃料小滴エミッタが、前記燃料小滴が第1方向に放出される始動用の第1位置と、小滴流が第2方向で生成される定常状態で使用される第2位置との間で移動させられる、放射源燃料小滴流ジェネレータ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H05G2/00 K
, H01L21/30 531S
4C092AA05
, 4C092AA06
, 4C092AB19
, 4C092AC09
, 5F146GC12
, 5F146GC14
