特許
J-GLOBAL ID：201503024181455569
金属プレート及びオスミウム膜の成膜方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
柳瀬 睦肇
, 渡部 温
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-274567
公開番号（公開出願番号）：特開2013-083006
特許番号：特許第5703439号
出願日： 2012年12月17日
公開日（公表日）： 2013年05月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 チャンバー内に金属物を配置し、
前記チャンバー内に0.1〜3cc/分の流量のOsO4ガス及び放電維持用の不活性ガスを導入しながら前記チャンバー内の圧力を13〜40Paに維持し、
密度0.25〜2.0W/cm2の高周波出力を用いて前記チャンバー内のガスをプラズマ化することにより、前記金属物の表面上にオスミウム膜を成膜することを特徴とするオスミウム膜の成膜方法。
IPC (4件)：
C23C 16/06 ( 200 6.01)
, C23C 16/509 ( 200 6.01)
, H01J 37/09 ( 200 6.01)
, C23C 16/458 ( 200 6.01)
C23C 16/06
, C23C 16/509
, H01J 37/09 A
, C23C 16/458
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (10件)
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