特許
J-GLOBAL ID:201503025929298204

欠陥検査装置及び光学表示デバイスの生産システム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件): 棚井 澄雄 ,  ▲廣▼保 直純 ,  荒 則彦 ,  加藤 広之 ,  五十嵐 光永
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-165618
公開番号(公開出願番号):特開2015-034744
出願日: 2013年08月08日
公開日(公表日): 2015年02月19日
要約:
【課題】光学部材の欠陥検査を精度良く行うことができ、且つ、光学部材を高速搬送しても検出感度が低下することを抑制することが可能な欠陥検査装置、光学表示デバイスの生産システムを提供する。【解決手段】ライン上を搬送される光学部材の欠陥検査装置であって、光学部材の一方側に配置された照明装置と、光学部材の他方側に配置された撮像装置と、を含み、照明装置は、互いに等しい分光分布特性を有する複数の光源と、複数の光源の各々に対応した分岐部を有し、各分岐部に接続された光源からの光を1本にまとめて伝送する複数分岐光ファイバーケーブルと、複数分岐光ファイバーケーブルによって伝送された複数の光源からの光を導光して光学部材の一方側の面に向けて射出する導光部材と、を含み、撮像装置は、導光部材から射出されて光学部材を透過した光の画像を撮像する。【選択図】図5
請求項(抜粋):
ライン上を搬送される光学部材の欠陥検査装置であって、 前記光学部材の一方側に配置された照明装置と、 前記光学部材の他方側に配置された撮像装置と、を含み、 前記照明装置は、 互いに等しい分光分布特性を有する複数の光源と、 前記複数の光源の各々に対応した分岐部を有し、各分岐部に接続された前記光源からの光を1本にまとめて伝送する複数分岐光ファイバーケーブルと、 前記複数分岐光ファイバーケーブルによって伝送された前記複数の光源からの光を導光して前記光学部材の一方側の面に向けて射出する導光部材と、を含み、 前記撮像装置は、前記導光部材から射出されて前記光学部材を透過した光の画像を撮像する欠陥検査装置。
IPC (4件):
G01N 21/892 ,  G01M 11/00 ,  G02F 1/133 ,  G09F 9/00
FI (4件):
G01N21/892 A ,  G01M11/00 T ,  G02F1/1335 ,  G09F9/00 352
Fターム (34件):
2G051AA41 ,  2G051AA73 ,  2G051AB02 ,  2G051BA01 ,  2G051BB17 ,  2G051CA03 ,  2G051CA07 ,  2G051CA12 ,  2G051CB02 ,  2G051DA06 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA16 ,  2G051EB01 ,  2G051EC01 ,  2G051ED04 ,  2G051ED05 ,  2G051ED08 ,  2G051ED09 ,  2G051GD02 ,  2G051GD06 ,  2G086EE10 ,  2H191FA22X ,  2H191FA22Z ,  2H191FC41 ,  2H191FC42 ,  2H191FD35 ,  2H191LA13 ,  5G435AA19 ,  5G435BB05 ,  5G435BB12 ,  5G435FF05 ,  5G435FF06 ,  5G435KK10
引用特許:
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

前のページに戻る