特許
J-GLOBAL ID：200903095167597420
検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
岩橋 文雄
, 内藤 浩樹
, 永野 大介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-254013
公開番号（公開出願番号）：特開2009-085691
出願日： 2007年09月28日
公開日（公表日）： 2009年04月23日
要約：
【課題】従来の検査装置では、光透過性の基板の表裏面の区別と、付着物と傷との区別が困難であるという課題がある。【解決手段】照明装置13からの光を第2屈折部材16および第1屈折部材15で屈折させて照明装置13の法線方向の光量を激減させた光を作成し、この光を基板12に照射および透過させた後に撮像装置14で撮像することで、光透過性の基板12の表裏面の区別と、付着物と傷との区別を行うことが可能な検査を行うことが可能となる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被検査物を載置するステージと、
前記ステージを挟んでそれぞれ配置された前記被検査物に光を照射する照明装置および前記被検査物からの光を撮像する撮像装置と、
前記ステージと前記照明装置との間に配置され、かつ、相対向する面がそれぞれ凸面を有する第1および第2屈折部材からなる一対の屈折部材と、
前記撮像装置の撮像結果に基づいて前記被検査物の検査を行う処理装置と、を備えること
を特徴とする検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (8件)：
2G051AA42
, 2G051AA84
, 2G051AB01
, 2G051AB02
, 2G051BB17
, 2G051BB20
, 2G051CA03
, 2G051CB02
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (5件)
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