特許
J-GLOBAL ID：201503028770438114
DUV光源の能動スペクトル制御
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
熊倉 禎男
, 大塚 文昭
, 西島 孝喜
, 須田 洋之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-011451
公開番号（公開出願番号）：特開2013-102206
特許番号：特許第5647700号
出願日： 2013年01月24日
公開日（公表日）： 2013年05月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】ガス放電レーザシステムのための制御システムであって、
前記ガス放電レーザシステムに関連するレーザ作動パラメータを測定して、レーザ作動パラメータ測定値を供給するレーザ作動パラメータ測定モジュールと、
前記レーザ作動パラメータ測定値及びレーザ作動パラメータ設定値を受信して、レーザ作動パラメータ誤差信号を供給するレーザ作動パラメータ誤差信号発生器と、
他のレーザ作動パラメータに対するレーザ作動パラメータの感度を推定するリアルタイム推定フィルタと、
前記リアルタイム推定フィルタから出力される前記推定された感度に従って前記レーザ作動パラメータ誤差信号を修正し、それによって前記レーザ作動パラメータについての前記他のレーザ作動パラメータの効果を補正するレーザ作動パラメータ誤差信号修正器と、
前記修正されたレーザ作動パラメータ誤差信号に基づいて前記ガス放電レーザシステム内のガスの特性を調整するアクチュエータと、
を含むことを特徴とするシステム。
IPC (2件)：
H01S 3/137 ( 200 6.01)
, H01S 3/134 ( 200 6.01)
