特許
J-GLOBAL ID：201503030746154398

位置検出装置および位置検出方法

発明者：
杉下 芳昭

杉下 芳昭 について


出願人/特許権者：
リンテック株式会社

リンテック株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人樹之下知的財産事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-136530
公開番号（公開出願番号）：特開2015-010937
出願日： 2013年06月28日
公開日（公表日）： 2015年01月19日
要約：
【課題】被検査体の位置検出精度を向上させることができる位置検出装置を提供すること。【解決手段】少なくとも一方の面に所定の造形物が形成された被検査体WKを支持する支持手段2と、被検査体WKを加熱可能な変温手段3と、変温手段3による被検査体WKの変温時に、被検査体WKの造形物が形成された領域と他の領域とを判別して当該被検査体WKの位置を認識する認識手段6とを備え、変温手段3は、1つの被検査体WKの位置認識の間に、当該被検査体WKへの変温動作および変温動作の停止をそれぞれ複数回繰り返す。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基材の少なくとも一方の面に所定の造形物が形成された被検査体の位置を認識する位置検出装置であって、 前記被検査体を変温可能な変温手段と、 前記被検査体の変温時に判別データを取り込み、当該被検査体の前記造形物が形成された領域と他の領域とを判別して当該被検査体の位置を認識する認識手段とを備え、 前記変温手段は、1つの前記被検査体の位置認識の間に、前記被検査体への変温動作および変温動作の停止をそれぞれ複数回繰り返すことを特徴とする位置検出装置。
IPC (3件)：
G01B 11/00 ,  H01L 21/68 ,  G01J 5/48
FI (4件)：
G01B11/00 H ,  H01L21/68 F ,  G01B11/00 C ,  G01J5/48 Z
Fターム (48件)：
2F065AA03 ,  2F065AA07 ,  2F065AA12 ,  2F065AA15 ,  2F065BB02 ,  2F065BB03 ,  2F065CC19 ,  2F065DD03 ,  2F065FF04 ,  2F065GG09 ,  2F065JJ00 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM02 ,  2F065PP12 ,  2G066AC11 ,  2G066BC15 ,  2G066CA02 ,  2G066CA11 ,  5F131AA02 ,  5F131BA39 ,  5F131CA02 ,  5F131CA18 ,  5F131CA69 ,  5F131DA14 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131DB87 ,  5F131EA02 ,  5F131EA22 ,  5F131EA24 ,  5F131EB01 ,  5F131EB81 ,  5F131EB82 ,  5F131FA26 ,  5F131FA32 ,  5F131JA14 ,  5F131JA23 ,  5F131JA34 ,  5F131KA12 ,  5F131KA14 ,  5F131KA23 ,  5F131KA63 ,  5F131KA72 ,  5F131KB12 ,  5F131KB32 ,  5F131KB55
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (5件)
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引用文献：
出願人引用 (1件)
  • マグローヒル科学技術用語大辞典 改訂第3版, 20010531, 第949頁
審査官引用 (1件)
  • マグローヒル科学技術用語大辞典 改訂第3版, 20010531, 第949頁

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