特許
J-GLOBAL ID：201503035336884668
寄生負荷最小化光学素子モジュール
発明者：
,
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
杉村 憲司
, 下地 健一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-239984
公開番号（公開出願番号）：特開2013-080933
特許番号：特許第5695011号
出願日： 2012年10月31日
公開日（公表日）： 2013年05月02日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 光学素子モジュールであって、
光学素子を備える光学素子ユニットと、
前記光学素子ユニットをサポートするサポート構造体と
を備え、
前記サポート構造体は少なくとも一つの接触器具を備え、該接触器具は少なくとも一つの保持器具を備え、前記接触器具は前記光学素子ユニットに対して、前記少なくとも一つの保持器具の第1接触面を介して、保持力方向に重力に対抗するための保持力を作用させ、前記第1接触面は前記光学素子ユニットの第2接触面に接し、
前記少なくとも一つの保持器具は、前記第1接触面の傾斜動作の傾斜軸を定め、前記傾斜動作は、前記第1接触面に生じる、前記保持力方向の接触力に起因し、
前記傾斜軸は、前記第1接触面付近に位置するか、又は、実質的に前記第1接触面内に位置し、
前記サポート構造体は、前記接触器具をサポートするサポート器具を備え、
前記接触器具は、前記第1接触面及び前記サポート器具をリンクする少なくとも一つのリンク部を備え、
前記傾斜軸は、前記少なくとも一つのリンク部によって定められ、
前記少なくとも一つのリンク部は、前記傾斜軸を定める少なくとも一つの弾性変形素子を備える
ことを特徴とする光学素子モジュール。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ( 200 6.01)
, G03F 7/20 ( 200 6.01)
H01L 21/30 515 D
, G03F 7/20 521
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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