特許
J-GLOBAL ID：201503036309154700

被加工物保持機構

発明者：
遠藤 智章

遠藤 智章 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (3件)： 川村 恭子 ,  佐々木 功 ,  久保 健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-216162
公開番号（公開出願番号）：特開2015-079859
出願日： 2013年10月17日
公開日（公表日）： 2015年04月23日
要約：
【課題】チャックテーブルベースに対するチャックテーブルの装着前後におけるチャックテーブルの上面高さに変動が生じない被加工物保持機構を提供する。【解決手段】被加工物保持機構10は、被加工物Wを保持するチャックテーブル11とチャックテーブル11を表面12aで保持するチャックテーブルベース12とを備え、チャックテーブルベース12にチャックテーブル11を固定させる位置を位置決めする位置決め部120が配設され、枠体112の底部113において位置決めピン121が係合する係合凹部116が形成されているため、チャックテーブルベース12においてチャックテーブル11を必ず所定の向きで載置することができ、チャックテーブルベース12に対するチャックテーブル11の装着前後でチャックテーブル11の上面高さにばらつきが発生することがなく、被加工物Wに精度の良い加工を行うことができる。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
被加工物に加工を施す加工装置に配設され被加工物を保持する被加工物保持機構であって、 該被加工物保持機構は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルを上面で保持するチャックテーブルベースとを備え、 該チャックテーブルは、被加工物を保持する保持面を有する保持部と、該チャックテーブルベースに載置される底部を有し該保持面を露出させ該保持部を収容する枠体と、該枠体の該底部に形成され該保持部に貫通する吸引路と、を備え、 該チャックテーブルベースは、該枠体の該底部に当接させて該チャックテーブルを位置決めする位置決め部と、吸引源に連通し且つ該チャックテーブルベースに該チャックテーブルが位置決めされて載置されると該チャックテーブルの該吸引路に連通する吸引孔と、を備え、 該位置決め部は、該チャックテーブルベースの上面から突出して形成された凸部材からなり、 該チャックテーブルの該枠体の該底部には、該凸部材が係合する係合凹部が形成され、 該凸部材が該係合凹部に係合することにより該チャックテーブルベースに対して該チャックテーブルが位置決めされることを特徴とする被加工物保持機構。
IPC (3件)：
H01L 21/301 ,  B23Q 3/08 ,  H01L 21/683
FI (3件)：
H01L21/78 N ,  B23Q3/08 A ,  H01L21/68 N
Fターム (20件)：
3C016DA01 ,  5F063AA21 ,  5F063CB02 ,  5F063CB05 ,  5F063CB07 ,  5F063CB24 ,  5F063CB30 ,  5F063DE02 ,  5F063FF01 ,  5F131AA02 ,  5F131BA32 ,  5F131CA06 ,  5F131DA32 ,  5F131DA33 ,  5F131DA36 ,  5F131DA42 ,  5F131EA05 ,  5F131EA24 ,  5F131EB01 ,  5F131EB79
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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