特許
J-GLOBAL ID：200903031342875864

撮像ユニット

発明者：
斎藤 孝広

斎藤 孝広 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 佐々木 功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-138780
公開番号（公開出願番号）：特開2003-333389
出願日： 2002年05月14日
公開日（公表日）： 2003年11月21日
要約：
【要約】【課題】 被加工物に形成された所望のパターンを撮像により検出する場合において、被加工物がガラスのような透明体である場合にも、パターンを確実に検出できるようにする。【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブル15と、チャックテーブル15に保持された被加工物を撮像する撮像手段40とから構成される撮像ユニット50において、チャックテーブル15に発光体23を埋設し、発光体からの発光によってチャックテーブル15に保持された被加工物1を透過させて撮像手段40によって撮像することにより、透明な被加工物1に形成されたパターンを検出できるようにする。
請求項（抜粋）：
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を撮像する撮像手段とから構成される撮像ユニットであって、該チャックテーブルに発光体を埋設し、該発光体からの発光によって該チャックテーブルに保持された被加工物を透過させて該撮像手段によって撮像するようにした撮像ユニット。
IPC (3件)：
H04N 5/225 ,  G01B 11/00 ,  H01L 21/301
FI (3件)：
H04N 5/225 C ,  G01B 11/00 H ,  H01L 21/78 C
Fターム (21件)：
2F065AA07 ,  2F065AA14 ,  2F065AA20 ,  2F065BB02 ,  2F065BB18 ,  2F065CC19 ,  2F065DD09 ,  2F065FF04 ,  2F065FF46 ,  2F065GG13 ,  2F065HH15 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ38 ,  5C022AC21 ,  5C022AC42 ,  5C022AC78 ,  5C022CA01
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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