特許

J-GLOBAL ID：201503037303893451

プレス装置

発明者： 小林 恭子 ,  鍋島 広昭 ,  平野 雅彦 ,  石田 幸生
出願人/特許権者： キヤノンマシナリー株式会社
代理人 (3件)： 城村 邦彦 ,  熊野 剛 ,  前田 礼子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-250256
公開番号（公開出願番号）：特開2014-132649
特許番号：特許第5730981号
出願日： 2013年12月03日
公開日（公表日）： 2014年07月17日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 上プレスヘッドと、下プレスヘッドと、下プレスヘッドにて受けられた粒子部材形成体に形成される粒子部材を押圧するプレス装置であって、 下プレスヘッドは、上面に凹球面を有する下部材と、下面に前記下部材の凹球面に嵌合する凸球面を有する上部材と、上部材の凸球面と下部材の凹球面との間にエアを供給するエア供給・吸引機構と、上部材の外側から押圧して、下部材に対する上部材の位置を固定する固定機構とを有する倣い手段を備え、下部材の凹球面に上部材の凸球面を嵌合させてこれらの間にエアを供給した状態で、上プレスヘッドを下降させて、上プレスヘッドの下端平坦面にて上部材の上面平坦面を押圧して上プレスヘッドと下プレスヘッドとの平行出しを行い、この平行出し状態で凹球面と凸球面との間のエアの排出・吸引により上部材の下部材に対する位置固定を行い、前記エア供給・吸引機構は、前記下部材の少なくとも凹球面形成部位が多孔質材料で構成され、この多孔質材料を介して凹球面と凸球面との間にエアを供給することを特徴とするプレス装置。

IPC (2件)：

H01L 21/60 ( 200 6.01) ,  H01L 33/62 ( 201 0.01)

FI (2件)：

H01L 21/60 311 T ,  H01L 33/00 440

引用特許：

出願人引用 (1件)

• バンプコイニングヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-247502   出願人：株式会社マクシス・シントー

審査官引用 (1件)

• バンプコイニングヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-247502   出願人：株式会社マクシス・シントー