特許
J-GLOBAL ID：201503038260180509
エッチング方法及び太陽電池用固体材料の表面加工方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
特許業務法人三枝国際特許事務所
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012070540
公開番号（公開出願番号）：WO2013-024823
出願日： 2012年08月10日
公開日（公表日）： 2013年02月21日
要約：
(1)N-F結合を有する有機化合物を少なくとも1種含む材料を、固体材料の表面に接触させる工程、及び(2)前記固体材料を加熱する工程を含むことで、地球温暖化を引き起こす環境負荷が高いガス類、又は反応性、毒性の高く危険なフッ素ガス、フッ酸を用いることなく、安全で簡便に行うことができ、しかもエッチング速度が向上したエッチング方法を提供できる。 前記エッチング方法は、さらに、(3)固体材料に、N-F結合を有する有機化合物を少なくとも1種含む材料側から露光する工程、及び/又は(4)N-F結合を有する有機化合物を少なくとも1種含む材料を、該材料と固体材料との間の残渣とともに除去する工程を含んでもよい。特に、加熱温度を高温として光照射を施すことで、太陽電池用固体材料の表面の光閉じ込め及び/又は反射防止加工のために好適な逆ピラミッド形状の凹部を形成することが可能である。
請求項（抜粋）：
(1)N-F結合を有する有機化合物を少なくとも1種含む材料を、固体材料の表面に接触させる工程、及び
(2)前記固体材料を加熱する工程
を含む固体材料のエッチング方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/308 B
, H01L21/308 C
, H01L31/04 H
5F043AA02
, 5F043AA03
, 5F043AA04
, 5F043AA05
, 5F043BB00
, 5F043BB01
, 5F043BB07
, 5F043BB08
, 5F043BB10
, 5F043DD07
, 5F043DD08
, 5F043GG10
, 5F151CB21
, 5F151GA04
, 5F151GA15
, 5F151HA07
