特許

J-GLOBAL ID：201503040002895930

プローブ装置

発明者： 岡田 章 ,  野尻 栄治
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (3件)： 高田 守 ,  高橋 英樹 ,  久野 淑己
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-126016
公開番号（公開出願番号）：特開2015-001448
出願日： 2013年06月14日
公開日（公表日）： 2015年01月05日
要約：

【課題】本発明は、電極パッドの大きさに合わせてコンタクト痕の大きさを調整できるプローブ装置を提供することを目的とする。【解決手段】基板12と、該基板に固定された第1コンタクトプローブ14と、該基板に固定された第2コンタクトプローブ18と、該基板に固定され、該第1コンタクトプローブと電気的に接続された第1信号線16と、該基板に固定され、該第1信号線と絶縁されつつ、該第2コンタクトプローブと電気的に接続された第2信号線20と、を備え、該基板から該第1コンタクトプローブの先端までの最短距離は、該基板から該第2コンタクトプローブの先端までの最短距離より長い。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板と、 前記基板に固定された第1コンタクトプローブと、 前記基板に固定された第2コンタクトプローブと、 前記基板に固定され、前記第1コンタクトプローブと電気的に接続された第1信号線と、 前記基板に固定され、前記第1信号線と絶縁されつつ、前記第2コンタクトプローブと電気的に接続された第2信号線と、を備え、 前記基板から前記第1コンタクトプローブの先端までの最短距離は、前記基板から前記第2コンタクトプローブの先端までの最短距離より長いことを特徴とするプローブ装置。

IPC (2件)：

G01R 1/073 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

G01R1/073 E ,  H01L21/66 B

Fターム (12件)：

2G011AA02 ,  2G011AA16 ,  2G011AB01 ,  2G011AB06 ,  2G011AC14 ,  2G011AE03 ,  2G011AF07 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA01 ,  4M106DD06 ,  4M106DD10

引用特許：

審査官引用 (3件)

• コンタクトプローブおよびこれを備えたプローブ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-097619   出願人：三菱マテリアル株式会社
• 実装基板検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-043095   出願人：富士写真フイルム株式会社
• 回路基板の検査・試験用可変ピッチプローブ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-233170   出願人：鈴木信昭