特許

J-GLOBAL ID：201503050187231272

物理量センサー、電子機器、および移動体

発明者： 田中 悟
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  宮坂 一彦 ,  渡辺 和昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-145221
公開番号（公開出願番号）：特開2015-017886
出願日： 2013年07月11日
公開日（公表日）： 2015年01月29日
要約：

【課題】軸支された可動体の水平および回転軸方向の変位による物理量センサーの破損を抑制することができる物理量センサーを提供する。【解決手段】固定電極部としての検出電極部21と、検出電極部21の上に主面を対向させて支持部42に支持されている可動体50とを備え、可動体50の外形の縁の少なくとも一部に対向して設けられ、可動体50の主面の面内回転変位を規制するストッパー部70を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

固定電極部と、 前記固定電極部の上に主面を対向させて支持部に支持されている可動体と、を備え、 前記可動体の外形の縁の少なくとも一部に対向して設けられ、前記可動体の前記主面の面内回転変位を規制するストッパー部を備えることを特徴とする物理量センサー。

IPC (3件)：

G01P 15/125 ,  H01L 29/84 ,  G01P 15/08

FI (3件)：

G01P15/125 Z ,  H01L29/84 Z ,  G01P15/08 P

Fターム (11件)：

4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA22 ,  4M112CA24 ,  4M112CA31 ,  4M112DA15 ,  4M112EA02 ,  4M112EA11 ,  4M112FA07 ,  4M112GA01

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-056943   出願人：パナソニック電工株式会社
• 半導体センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-141066   出願人：パナソニック電工株式会社