含フッ素化合物、含フッ素高分子化合物、レジスト組成物、トップコート組成物及びパターン形成方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：楊井清志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-178849
公開番号（公開出願番号）：特開2014-240982
出願日： 2014年09月03日
公開日（公表日）： 2014年12月25日
要約：

【課題】300nm以下の波長の高エネルギー線又は電子線を用いてパターンを形成するレジスト組成物、および液浸リソグラフィーにおけるトップコート組成物に使用する樹脂であって、撥水性、特に後退接触角の大きい樹脂を提供する。【解決手段】下記一般式(2)で示される繰り返し単位(a)を含む質量平均分子量1,000〜1,000,000の含フッ素高分子化合物。【化】(式中、R1は、重合性二重結合含有基を表し、R2は、フッ素原子または含フッ素アルキル基を表し、R8は、置換もしくは非置換のアルキル基などを表し、W1は、単結合、非置換もしくは置換メチレン基などを表す。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

下記の含フッ素高分子化合物と溶剤を少なくとも含み、溶剤が炭素数5〜20の炭化水素を50〜99.9質量%、炭素数1〜20のアルコールを0.1〜50質量%で混合した混合溶媒である、トップコート組成物溶液。 (下記一般式(2)で示される繰り返し単位(a)を含む質量平均分子量1,000〜1,000,000の含フッ素高分子化合物。

IPC (6件)：

G03F 7/11 , C08F 20/22 , C08F 16/24 , C09D 127/12 , G03F 7/039 , G03F 7/004

FI (6件)：

G03F7/11 501 , C08F20/22 , C08F16/24 , C09D127/12 , G03F7/039 601 , G03F7/004 501

Fターム (56件)：

2H125AF17P , 2H125AF35P , 2H125AF36P , 2H125AH12 , 2H125AH19 , 2H125AH24 , 2H125AJ14X , 2H125AJ64X , 2H125AJ65X , 2H125AJ69X , 2H125AM23N , 2H125AM94N , 2H125AM99N , 2H125AN11N , 2H125AN39N , 2H125AN39P , 2H125AN63P , 2H125BA01N , 2H125BA26P , 2H125CA12 , 2H125CB09 , 2H125CC03 , 2H125CC15 , 2H125CD08N , 2H125CD12N , 2H125CD39 , 2H125CD40 , 2H125DA03 , 2H125FA03 , 4J038CD091 , 4J038NA07 , 4J100AL03Q , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100AL08R , 4J100BA03P , 4J100BA05P , 4J100BA11R , 4J100BA20P , 4J100BA59P , 4J100BB07P , 4J100BB12P , 4J100BB13P , 4J100BB17R , 4J100BB18P , 4J100BC03Q , 4J100BC08P , 4J100BC43P , 4J100BC53R , 4J100CA01 , 4J100CA04 , 4J100CA05 , 4J100DA01 , 4J100DA39 , 4J100JA01 , 4J100JA38

引用特許：

出願人引用 (2件)

ポジ型レジスト組成物、レジストパターン形成方法、高分子化合物
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-046888 出願人：東京応化工業株式会社
農業用積層フィルム
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-264941 出願人：旭硝子株式会社

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