特許
J-GLOBAL ID：201503056718616466
分極処理装置、電気機械変換素子、液滴吐出ヘッドおよび画像形成装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
工藤 修一
, 樺山 亨
, 本多 章悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-140167
公開番号（公開出願番号）：特開2015-015316
出願日： 2013年07月03日
公開日（公表日）： 2015年01月22日
要約：
【課題】コロナワイヤ電極を用いた分極処理装置で、従来よりも分極処理時間を短縮化する。【解決手段】コロナ帯電処理装置1は、アクチュエータ基板上に形成された少なくとも電気機械変換素子を含む試料(図示せず)をセットするためのサンプルステージ4と、サンプルステージ4上にセットされた試料(図示せず)に対向して設けられ、コロナ放電を行うコロナワイヤ電極2とグリッド電極3とを備え、サンプルステージ4が、ステージ電源9によりコロナワイヤ電極2と逆極性の電圧を印加されている。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
基板または下地膜上に金属もしくは金属と酸化物から成る第1の電極を形成し、該第1の電極上に電気機械変換膜を形成し、該電気機械変換膜上に金属もしくは金属と酸化物から成る第2の電極を形成することにより構成した電気機械変換素子を有するアクチュエータ基板上の前記電気機械変換素子に対して、コロナ放電により分極処理を行う分極処理装置において、
前記アクチュエータ基板上に形成された少なくとも前記電気機械変換素子を含む試料をセットするためのサンプルステージと、
前記サンプルステージ上にセットされた前記試料に対向して設けられ、前記コロナ放電を行うコロナワイヤ電極またはコロナワイヤ電極とグリッド電極と、を備え、
前記サンプルステージが、前記コロナワイヤ電極と逆極性の電圧を印加されていることを特徴とする分極処理装置。
IPC (6件)：
H01L 41/257
, B41J 2/16
, H01L 41/09
, H01L 41/187
, B41J 2/045
, B41J 2/055
H01L41/257
, B41J3/04 103H
, H01L41/09
, H01L41/187
, B41J3/04 103A
2C057AF93
, 2C057AG39
, 2C057AG44
, 2C057AG52
, 2C057AG55
, 2C057AP14
, 2C057AP34
, 2C057AP57
, 2C057AQ02
