特許
J-GLOBAL ID:201503067915124496
搬送装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
吉田 稔
, 田中 達也
, 仙波 司
, 鈴木 泰光
, 臼井 尚
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-136399
公開番号(公開出願番号):特開2015-009319
出願日: 2013年06月28日
公開日(公表日): 2015年01月19日
要約:
【課題】旋回範囲を大きくせずに、大きなワークを搬送できる搬送装置を提供する。【解決手段】基体11と、第1手首部14Aと、第1手首部に対して第1方向X1側に位置する第2手首部14Bと、第1手首部と第2手首部を、第1方向に平行な平面に沿って基体に対して移動させる移動機構13とを備え、移動機構は右側回動部材41と右側第1案内アーム43Aと右側第2案内アーム43Bとを含み、右側回動部材は、基体に対して回動可能に基体に支持されており、右側第1案内アームは第1手首部に連結され、且つ、第2方向X2に沿って延びる右側第1中間軸線43Aa周りに回動可能に、右側回動部材に連結されており、右側第2案内アームは第2手首部に連結され、且つ、第2方向に沿って延びる右側第2中間軸線43Ba回りに回動可能に右側回動部材に連結されており、右側第1中間軸線は平面視において、右側第2中間軸線に対して第1方向側に位置している。【選択図】図3
請求項(抜粋):
基体と、
第1移動部と、
前記第1移動部に対して第1方向側に位置する第2移動部と、
前記第1移動部および前記第2移動部を、前記第1方向に平行な平面に沿って前記基体に対して移動させる移動機構と、を備え、
前記移動機構は、回動部材と第1案内アームと第2案内アームと、を含み、
前記回動部材は、前記基体に対して回動可能に、前記基体に支持されており、
前記第1案内アームは、前記第1移動部に連結され、且つ、前記第1方向に直交する第2方向に沿って延びる第1中間軸線周りに回動可能に、前記回動部材に連結されており、
前記第2案内アームは、前記第2移動部に連結され、且つ、前記第2方向に沿って延びる第2中間軸線回りに回動可能に、前記回動部材に連結されており、
前記第1中間軸線は、平面視において、前記第2中間軸線に対して前記第1方向側に位置している、搬送装置。
IPC (3件):
B25J 9/06
, H01L 21/677
, B65G 49/07
FI (3件):
B25J9/06 E
, H01L21/68 A
, B65G49/07 D
Fターム (13件):
3C707BS23
, 3C707BS26
, 3C707CU00
, 3C707CY36
, 3C707NS13
, 5F131AA02
, 5F131CA38
, 5F131DB02
, 5F131DB52
, 5F131DB58
, 5F131DB76
, 5F131DB82
, 5F131DB93
引用特許:
出願人引用 (1件)
-
単一駆動式二重平面ロボット
公報種別:公表公報
出願番号:特願2000-532248
出願人:アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
審査官引用 (1件)
-
単一駆動式二重平面ロボット
公報種別:公表公報
出願番号:特願2000-532248
出願人:アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
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