薄膜ブロックコポリマーの配向性の制御のための無水コポリマートップコート

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：山本秀策 , 森下夏樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-556678
公開番号（公開出願番号）：特表2015-516891
出願日： 2013年02月07日
公開日（公表日）： 2015年06月18日
要約：

本発明は、ブロックコポリマー薄膜上へスピンコーティングすることができ、トップコート-ブロックコポリマー界面の界面エネルギーを制御するために使用することができるランダムコポリマートップコートの使用を含む。トップコートは水性弱塩基に可溶性であり、これらを一度ブロックコポリマー薄膜上へ蒸着してしまえば、表面エネルギーを変更することができる。高度なリソグラフィックパターンを生成するための自己集合したブロックコポリマーの使用は薄膜におけるこれらの配向性の制御に依存する。トップコートは、別の方法ではかなり困難であるブロックコポリマーの容易な配向性の制御を潜在的に可能にする。

請求項（抜粋）：

トップコートをブロックコポリマー膜に塗布することによって層状構造を作る方法であって、 a.表面と、表面エネルギー中和層コポリマーと、ブロックコポリマーと、無水マレイン酸を含むトップコート組成物とを準備するステップ; b.前記表面上に第1の層が作られるような条件下で、前記表面を前記表面エネルギー中和層コポリマーで処理するステップであって、前記層が架橋ポリマーを含むステップ; c.ブロックコポリマー膜を含む第2の層が前記表面上に作られるような条件下で、前記第1の層をブロックコポリマーでコーティングするステップ;ならびに d.前記第2の層を前記トップコート組成物でコーティングすることによって、前記表面上に第3の層を作るステップであって、前記第3の層が前記ブロックコポリマー膜表面上にトップコートを含み、前記第1、第2、および第3の層が層状構造を構成するステップ、を含む方法。

IPC (9件)：

B32B 37/00 , C08J 7/04 , C08J 7/00 , H01L 21/027 , B82Y 30/00 , B82Y 40/00 , B05D 1/36 , B05D 7/24 , G11B 5/84

FI (10件)：

B32B31/00 , C08J7/04 V , C08J7/04 , C08J7/00 306 , H01L21/30 502D , B82Y30/00 , B82Y40/00 , B05D1/36 Z , B05D7/24 302P , G11B5/84 Z

Fターム (53件)：

4D075AE03 , 4D075BB21Z , 4D075BB60Z , 4D075BB66Z , 4D075CB33 , 4D075DA04 , 4D075DA06 , 4D075DB13 , 4D075DB14 , 4D075DB31 , 4D075EA07 , 4D075EB20 , 4D075EC30 , 4F006AA15 , 4F006AA58 , 4F006AB16 , 4F006AB24 , 4F006CA01 , 4F006DA04 , 4F006EA01 , 4F006EA05 , 4F073AA14 , 4F073AA29 , 4F073BA18 , 4F073BB01 , 4F073CA01 , 4F073HA04 , 4F073HA09 , 4F073HA12 , 4F100AA20D , 4F100AB11D , 4F100AG00D , 4F100AK01A , 4F100AK01B , 4F100AK01D , 4F100AK24B , 4F100AK24C , 4F100AL01A , 4F100AL02B , 4F100BA03 , 4F100BA04 , 4F100CC00B , 4F100CC00C , 4F100EH46B , 4F100EJ15 , 4F100EJ42 , 4F100EJ98 , 4F100JB04 , 4F100JN01D , 5D112AA17 , 5D112BA10 , 5D112GA00 , 5F146AA28

引用特許：

審査官引用 (2件)

反射材
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-064492 出願人：株式会社朝日ラバー
熱硬化性膜形成組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-281657 出願人：日産化学工業株式会社

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