特許
J-GLOBAL ID：201503074988723874

反射防止機能を有する部材およびその製造方法

発明者：
仙波 昌平

仙波 昌平 について

, 
末木 英人

末木 英人 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-254257
公開番号（公開出願番号）：特開2015-114381
出願日： 2013年12月09日
公開日（公表日）： 2015年06月22日
要約：
【課題】基材上に薄い酸化アルミニウム膜を均一に形成して均一な微細凹凸状の反射防止構造を得ることができる、反射防止機能を有する部材およびその製造方法を提供する。【解決手段】反射防止機能を有する部材10は、基材11と、基材11の表面に形成された反射防止膜13とを備えている。反射防止膜13は、原子層堆積法によって形成された酸化アルミニウム膜を、高温の熱水または水蒸気により水熱処理することにより、微細凹凸構造が形成されたものである。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基材と、前記基材の表面に形成された反射防止膜とを備えた反射防止機能を有する部材であって、 前記反射防止膜は、原子層堆積法によって形成された酸化アルミニウム膜を、高温の熱水または水蒸気により水熱処理することにより、微細凹凸構造が形成されたものであることを特徴とする、反射防止機能を有する部材。
IPC (6件)：
G02B 1/11 ,  G02B 5/20 ,  B32B 9/00 ,  G02F 1/133 ,  G09F 9/30 ,  G09F 9/00
FI (6件)：
G02B1/10 A ,  G02B5/20 101 ,  B32B9/00 A ,  G02F1/1335 ,  G09F9/30 310 ,  G09F9/00 338
Fターム (35件)：
2H148BD26 ,  2H148BE31 ,  2H148BG01 ,  2H191FA40X ,  2H191FB12 ,  2H191FC02 ,  2H191FC35 ,  2K009AA01 ,  2K009BB01 ,  2K009BB02 ,  2K009CC03 ,  2K009CC45 ,  2K009DD06 ,  2K009DD12 ,  2K009DD15 ,  4F100AA19B ,  4F100AT00A ,  4F100BA02 ,  4F100DD07B ,  4F100GB41 ,  4F100JN06B ,  5C094AA43 ,  5C094EA05 ,  5C094EB02 ,  5C094ED03 ,  5C094ED12 ,  5C094ED20 ,  5C094FB20 ,  5C094GB10 ,  5G435AA17 ,  5G435GG12 ,  5G435HH03 ,  5G435HH20 ,  5G435KK05 ,  5G435KK07
引用特許：
審査官引用 (5件)
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