特許

J-GLOBAL ID：201503079172543942

クリーンルーム内に設置された高清浄度低露点設備における製造部品の搬入方法

発明者： 木村 崇 ,  芝江 宗完 ,  岡田 朗 ,  永坂 茂之
出願人/特許権者： 新日本空調株式会社
代理人 (1件)： 和泉 久志
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-185854
公開番号（公開出願番号）：特開2015-052430
特許番号：特許第5712258号
出願日： 2013年09月09日
公開日（公表日）： 2015年03月19日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 クリーンルーム内に、製造部品を一時的にストックするための空間として高清浄度低露点環境のストッカー空間が設置されるとともに、前記クリーンルームと前記ストッカー空間との間に介在し、それぞれの空間に対して仕切り扉によって出入り可能とされた高清浄度低露点環境の中間ブースが設置された高清浄度低露点空間設備において、 前記ストッカー空間及び中間ブースは、空間内が仕切られることによりリターンチャンバが形成されるとともに、このリターンチャンバにファン・フィルタ・ユニットが設置され、前記ストッカー空間及び中間ブース内の空気が前記リターンチャンバを通じてファン・フィルタ・ユニットに導入され、フィルタを経て同空間内に循環換気されることによって高清浄度化され、かつ低露点空気製造装置で製造された低露点空気が前記リターンチャンバに供給され空間内に供給されることにより前記ストッカー空間及び中間ブース内の空気が低露点化され、 前記中間ブースにおいて、中間ブース空間とリターンチャンバとを仕切る仕切り部に、ファン・フィルタ・ユニットのファン稼動時はリターンチャンバ内が減圧されることにより開口して空気の循環を許容し、ファン停止時は前記開口を封鎖することにより空気の循環を阻止する空気流通制御手段を配設し、 前記中間ブース及びストッカー空間において、ファン・フィルタ・ユニットが稼動するとともに、前記低露点空気製造装置から低露点空気が供給され、空間内が高清浄度低露点環境に維持された状態で、前記クリーンルームから製造部品をストッカー空間に搬入するに当たり、 (1)前記中間ブースのファン・フィルタ・ユニットのファンを停止する第1手順と、 (2)前記クリーンルームと中間ブースとの間の仕切り扉を開けて、製造部品を中間ブース内に搬入した後、前記仕切り扉を閉じる第2手順と、 (3)前記低露点空気製造装置から低露点空気の供給を継続し、中間ブース内の露点が供給される低露点空気の露点と同等となった時点または前記中間ブース内の露点と前記ストッカー空間の露点とが等しくなった時点で、ファン・フィルタ・ユニットのファンを再稼動する第3手順と、 (4)前記中間ブースとストッカー空間との間の仕切り扉を開けて、製造部品をストッカー空間に搬入する第4手順と、 からなることを特徴とする高清浄度低露点空間設備における製造部品の搬入方法。

IPC (2件)：

F24F 7/06 ( 200 6.01) ,  F24F 7/007 ( 200 6.01)

FI (2件)：

F24F 7/06 C ,  F24F 7/007 B

引用特許：

審査官引用 (4件)

• クリーンルーム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-193684   出願人：日立プラント建設株式会社
• 清浄空気循環システム、及び清浄空気循環方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-028649   出願人：高砂熱学工業株式会社
• 特開昭61-064313
  
• クリーンルーム設備及びクリーンルームの室圧制御方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-331538   出願人：松下電器産業株式会社