非付着性付与剤

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：棚井澄雄 , 志賀正武 , 鈴木三義 , 柳井則子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-231623
公開番号（公開出願番号）：特開2015-071774
出願日： 2014年11月14日
公開日（公表日）： 2015年04月16日
要約：

【課題】硬化性組成物の硬化物の表面に付着性を低下させる特性や付着物の除去を容易にする特性を与える性質を有する非付着性付与剤の提供。【解決手段】式(5):V-(CH2)m-Ar-(Y-Ar)n-X-R1-Cfで表される単量体の重合により形成された単位と、架橋性官能基を有する単位とを有する共重合体からなる非付着性付与剤。式中、Vは重合性基、Arは炭素数1〜15のアルキル基またはハロゲン原子を有していてもよい芳香環、R1は単結合または炭素数1〜15のアルキレン基、Cfは炭素原子間にエーテル性酸素原子を有していてもよい炭素数20以下のフルオロアルキル基、Xは-CH2O-または-COO-、Yは単結合、-OCH2-、-CH2O-、炭素数1〜4のアルキレン基、-O-、-CO-、-SO2-または-S-、mは0〜4の整数、nは0または1である。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

下式(5)で表される単量体の重合により形成された単位と架橋性官能基を有する単位とを有する共重合体からなる、非付着性付与剤。 V-(CH2)m-Ar-(Y-Ar)n-X-R1-Cf ・・・(5) V:重合性基 Ar:炭素数1〜15のアルキル基またはハロゲン原子を有していてもよい、芳香環 R1:単結合または炭素数1〜15のアルキレン基 Cf:炭素原子間にエーテル性酸素原子を有していてもよい、炭素数20以下のフルオロアルキル基 X:-CH2O-または-COO- Y:単結合、-OCH2-、-CH2O-、炭素数1〜4のアルキレン基、-O-、-CO-、-SO2-または-S- m:0〜4の整数 n:0または1。

IPC (8件)：

C08F 8/30 , C08F 290/12 , H01L 51/05 , H01L 51/30 , H01L 51/40 , H01L 21/336 , H01L 29/786 , H01L 21/28

FI (9件)：

C08F8/30 , C08F290/12 , H01L29/28 100A , H01L29/28 280 , H01L29/28 390 , H01L29/78 627C , H01L21/28 301B , H01L21/28 301R , H01L29/78 617T

Fターム (119件)：

4J100AB07P , 4J100AJ02R , 4J100AL08P , 4J100AL09Q , 4J100BA02P , 4J100BA15H , 4J100BA15P , 4J100BA38H , 4J100BB18P , 4J100BC43P , 4J100CA31 , 4J100HA11 , 4J100HA55 , 4J100HA62 , 4J100HC29 , 4J100HC51 , 4J127AA01 , 4J127AA03 , 4J127BB041 , 4J127BB042 , 4J127BB082 , 4J127BB091 , 4J127BB161 , 4J127BB162 , 4J127BB222 , 4J127BC032 , 4J127BC061 , 4J127BD042 , 4J127BD062 , 4J127BD231 , 4J127BE041 , 4J127BE042 , 4J127BE04X , 4J127BE04Y , 4J127BE112 , 4J127BE11X , 4J127BE242 , 4J127BE24X , 4J127BE342 , 4J127BE34X , 4J127BE34Y , 4J127BE512 , 4J127BE51Y , 4J127BF231 , 4J127BF23Y , 4J127BG051 , 4J127BG052 , 4J127BG05X , 4J127BG05Y , 4J127BG071 , 4J127BG07Y , 4J127BG081 , 4J127BG082 , 4J127BG08X , 4J127BG08Y , 4J127BG122 , 4J127BG12X , 4J127BG141 , 4J127BG14Y , 4J127BG162 , 4J127BG16X , 4J127BG172 , 4J127BG17X , 4J127BG17Y , 4J127BG272 , 4J127BG27Y , 4J127CB371 , 4J127CC111 , 4J127FA37 , 4M104AA09 , 4M104AA10 , 4M104BB01 , 4M104BB02 , 4M104BB04 , 4M104BB06 , 4M104BB08 , 4M104BB09 , 4M104BB13 , 4M104BB36 , 4M104BB39 , 4M104CC01 , 4M104CC05 , 4M104DD34 , 4M104DD37 , 4M104DD51 , 5F110AA01 , 5F110AA06 , 5F110AA17 , 5F110CC03 , 5F110CC07 , 5F110DD01 , 5F110DD02 , 5F110EE01 , 5F110EE02 , 5F110EE03 , 5F110EE07 , 5F110EE08 , 5F110EE42 , 5F110EE43 , 5F110EE44 , 5F110FF01 , 5F110FF05 , 5F110FF27 , 5F110FF36 , 5F110GG05 , 5F110GG24 , 5F110GG25 , 5F110GG28 , 5F110GG29 , 5F110GG42 , 5F110HK01 , 5F110HK02 , 5F110HK03 , 5F110HK04 , 5F110HK07 , 5F110HK09 , 5F110HK32 , 5F110HK33 , 5F110QQ01

引用特許：

出願人引用 (1件)

レジスト組成物及びその塗膜
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-131488 出願人：旭硝子株式会社

審査官引用 (1件)

レジスト組成物及びその塗膜
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-131488 出願人：旭硝子株式会社

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