特許

J-GLOBAL ID：201503090490960149

レーザ光を用いた距離測定装置

発明者： 増田 麻言
出願人/特許権者： 増田 麻言
代理人 (1件)： アイアット国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-217045
公開番号（公開出願番号）：特開2015-078941
出願日： 2013年10月18日
公開日（公表日）： 2015年04月23日
要約：

【課題】小型で高精度な距離測定装置を提供すること。【解決手段】レーザ光を用いた距離測定装置1は、レーザ光源2と、レーザ光源2が出射したレーザ光R1を平行光に変換する第1の光学素子3と、揺動ミラー9を備え、レーザ光を被測定物4の表面に走査する光偏向手段6と、第1の光学素子3と光偏向手段6の間に配置され、光偏向手段6によって走査された走査レーザ光R2を、測定部5の表面で収束させる可変焦点レンズ7と、測定部5の表面から反射された反射光の光量の最大値を検出する光量検出器8と、を有している。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

レーザ光を用いた距離測定装置において、 レーザ光源と、 前記レーザ光源が出射したレーザ光を平行光に変換する第1の光学素子と、 揺動可能なミラーを備え、前記レーザ光を被測定物の表面に走査する光偏向手段と、 前記第1の光学素子と前記光偏向手段の間に配置され、前記光偏向手段によって走査された走査レーザ光を、前記被測定物の表面で収束させる第2の光学素子と、 前記被測定物の表面から反射された反射光の光量の最大値を検出する光量検出器と、を有している、 ことを特徴とするレーザ光を用いた距離測定装置。

IPC (3件)：

G01C 3/06 ,  G01S 7/481 ,  G01S 17/42

FI (4件)：

G01C3/06 120P ,  G01S7/481 A ,  G01S17/42 ,  G01C3/06 140

Fターム (25件)：

2F112AD03 ,  2F112BA06 ,  2F112BA10 ,  2F112CA12 ,  2F112DA04 ,  2F112DA09 ,  2F112EA01 ,  2F112FA05 ,  2F112GA01 ,  5J084AA04 ,  5J084AA05 ,  5J084AD03 ,  5J084BA04 ,  5J084BA14 ,  5J084BA18 ,  5J084BA36 ,  5J084BB01 ,  5J084BB04 ,  5J084BB24 ,  5J084BB28 ,  5J084CA04 ,  5J084CA14 ,  5J084CA23 ,  5J084EA04 ,  5J084EA31

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 3次元形状計測装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-121725   出願人：藤井英郎
• 共焦点型検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-339652   出願人：住友大阪セメント株式会社
• 光走査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-165598   出願人：富士通株式会社

審査官引用 (3件)

• 3次元形状計測装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-121725   出願人：藤井英郎
• 共焦点型検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-339652   出願人：住友大阪セメント株式会社
• 光走査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-165598   出願人：富士通株式会社