特許
J-GLOBAL ID：201503092826328104
交流磁場測定装置および交流磁場測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
久保田 千賀志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-180807
公開番号（公開出願番号）：特開2015-049134
出願日： 2013年08月31日
公開日（公表日）： 2015年03月16日
要約：
【課題】 振動する探針を用いて、試料から発生する交流磁場を測定する装置において、試料が探針装置の実効的なバネ定数が変化しなくなる程度に高い周波数の交流磁場を発生する場合であっても、当該交流磁場の測定を可能にする。【解決手段】 励振周波数ω0で励振する探針111が試料2から発生する交流磁場により磁化される。試料2のコイル21には、所定周波数で変調した電流が流され、探針111には、基本交流磁場(角周波数ωs)を角周波数ωmで変調してなる変調交流磁場が与えられる。探針磁化と変調交流磁場との磁気的相互作用により探針111の実効的なバネ定数が変化する。信号抽出器14により探針111の振動を検出し、検出信号から励振振動に生じた変調信号(変調交流磁場により探針装置の実効的なバネ定数が変化することにより生じた信号)を抽出する。この抽出信号に基づき、交流磁場応答測定器15が、試料111の交流磁場応答性を測定する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
励磁用のコイルが形成された、交流磁場を発生する試料の交流磁場(または、交流磁場応答性)を測定する交流磁場測定装置であって、
磁性体からなる探針を備え、前記探針が前記試料から発生する交流磁場により磁化される探針装置と、
前記探針を励振周波数で励振する励振器と、
前記コイルに電流を流して前記試料から交流磁場を発生させ、前記交流磁場によって、前記探針の磁化を交流磁場の極性に応じて周期的に反転させる試料駆動源と、
前記探針の振動を検出し、前記検出信号から、前記励振振動に生じた機械変調にかかる信号(前記変調交流磁場により前記探針装置の実効的なバネ定数が変化することにより生じた信号)を抽出する信号抽出器と、
前記信号抽出器により抽出した信号に基づき、前記試料の交流磁場(または、交流磁場応答性)を測定する交流磁場応答測定器と、
を備え、
前記駆動源は、基本周波数の交流電流を所定周波数で変調した電流を出力する変調機能を有し、
前記交流磁場を発生する試料に形成された前記コイルに前記変調した電流を流すことで、前記試料から変調した交流磁場を発生し、
前記変調した交流磁場により前記探針の磁化を当該交流磁場の極性に応じて反転させるとともに、探針磁化と交流磁場との磁気的相互作用により前記実効的なバネ定数を変化させる、
ことを特徴とする交流磁場測定装置。
IPC (4件)：
G01Q 60/50
, G01R 33/02
, G01R 33/12
, G01N 27/72
G01Q60/50
, G01R33/02 F
, G01R33/12 Z
, G01N27/72
2G017AA15
, 2G017AD24
, 2G017BA03
, 2G017BA12
, 2G053AA30
, 2G053AB01
, 2G053AB15
, 2G053BA03
, 2G053BC02
, 2G053BC07
, 2G053BC14
, 2G053CB29
, 2G053DB06
, 2G053DB07
, 2G053DB19
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (2件)
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