特許
J-GLOBAL ID：201503095558132187
形状測定装置及びロータリテーブル座標系の登録方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
家入 健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-173051
公開番号（公開出願番号）：特開2015-040813
出願日： 2013年08月23日
公開日（公表日）： 2015年03月02日
要約：
【課題】ロータリテーブル座標系の原点の登録値を高精度化する。【解決手段】形状測定装置100は、被測定物を測定するためのプローブ17、被測定物が載置されるロータリテーブル50、ロータリテーブル50の座標系を構成する座標軸を算出する座標系算出部212を備える。座標系算出部212は、ロータリテーブル50に固定されたマスタボール61の位置に基づいて、ロータリテーブル50が回転したときにマスタボール61が描く円C1の中心を算出し、円C1の中心を原点とするロータリテーブル座標系を算出し、ロータリテーブル50に固定されたゲージ65の校正された直径値と、ゲージ65に対してプローブ17を第1方向にアプローチする第1測定により測定されたゲージ65の第1直径値と、ゲージ65に対してプローブ17を第2方向にアプローチする第2測定により測定されたゲージ65の第2直径値に基づいて、原点の座標を補正する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
被測定物を測定するためのプローブと、
前記被測定物が載置され、前記プローブに対して回転されるロータリテーブルと、
前記ロータリテーブルの座標系を構成する座標軸を算出する座標系算出部と
を具備し、
前記座標系算出部は、
前記ロータリテーブルに固定されたマスタボールの位置に基づいて、前記ロータリテーブルが回転したときに前記マスタボールが描く円の中心を算出し、
前記円の中心を原点とする前記ロータリテーブルの座標系を算出し、
前記ロータリテーブルに固定されたゲージの校正された直径値と、前記ゲージに対して前記プローブを第1方向にアプローチする第1測定により測定された前記ゲージの第1直径値と、前記ゲージに対して前記プローブを第2方向にアプローチする第2測定により測定された前記ゲージの第2直径値とに基づいて、前記原点の座標を補正する
形状測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (13件)：
2F062AA04
, 2F062AA10
, 2F062AA51
, 2F062DD01
, 2F062DD23
, 2F062DD24
, 2F062EE01
, 2F062EE62
, 2F062FF05
, 2F062FF17
, 2F062HH01
, 2F062JJ00
, 2F062MM03
