抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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形状の測定法には視覚の助けを借りるなど光と関係があるものが多いが,ここでは対象に光を当ることが定量的測定の主要な操作である場合を取上げ,光触針法にレーザを用いる場合について概説。次に全体形状の同時観測法を紹介し,さらに光触針法(各種の光触針,ならい計測用光触針の技術的問題点,光触針によらない計測結果)について詳説し,レーザによる形状測定の今後の課題としては,光触針の小型化,低コスト化が挙げられ,これには半導体レーザの改良が必要であると指摘;写図17表1参6