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J-GLOBAL ID：201602003612150423   整理番号：65A0001474

スパッタポンプの排気速度測定中の挙動の質量分析計による観察

Utilisation d’un spectrometre de masse pendant les mesures de debit de pompes a pulverisation.

著者 (1件)： ROBINSON N W
資料名： Vide Couches Minces  (Vide, les Couches Minces)
巻： 20  号： 117  ページ： 186-193  発行年： 1965年 
JST資料番号： E0358A  ISSN： 0223-4335  CODEN： VCMIDS  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： フランス (FRA) 

タイトルに関連する用語 (6件)： スパッタポンプ ,  排気 ,  速度測定 ,  挙動 ,  質量分析計 ,  観察