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J-GLOBAL ID：201602004953701149   整理番号：70A0019926

高圧rf放電の再点火電圧

Reignition voltage in a high-pressure rf discharge.

著者 (2件)： SCHWAB H A ,  HOTZ R F
資料名： J Appl Phys  (Journal of Applied Physics)
巻： 41  号： 4  ページ： 1503-1507  発行年： 1970年 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高圧rfグロー放電は各半サイクルが終了後消尽し,次の半サイクルで再点火しなければならない。この再点火電圧Vlを0.15~1MHzの周波数領域で実験的に調べた。V,はある値dまで電極間距離dと共に増加することがわかった。またd融,ではV,は顕著に減少し,dがさらに増加しても小さいままである。この様な実験事実を,比較的小さなdの場合と.大きなdの場合に分けて説明を行う;写図6参10

シソーラス用語： グロー放電 ,  高周波放電
準シソーラス用語： 再点火電圧

タイトルに関連する用語 (3件)： 高圧 ,  RF放電 ,  再点火