抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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アレーナトランジスタのエミッターベース接合の逆破壊による電流利得老化について研究した。試料には,エミッターベース接合上に電界板を置いたNPN素子を用いた。実験結果を説明するモデルを提案した。これは,エミッターベース接合周辺にそった酸化層になだれ破壊によって生成された熱いキャリヤが侵入し,Si-SiO
2,界面に再結合中心を生成するというものである。このモデルによって,電界板に正のバイアスを加えたときの酸化層における負電荷の増大,および負バイアスの場合の,なだれ破壊がベース電流-ゲート電圧曲線における最大を生じる現象を説明できる;写図9参23