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J-GLOBAL ID：201602008559738040   整理番号：72A0002315

スラィディングシャフ真空ロックのための吸着およびイオンゲッタポンピング

Sorption and ion-getter pumping for a sliding-shaft vacuum lock.

著者 (1件)： STOFFELS J J
資料名： J Vac Sci Technol  (Journal of Vacuum Science & Technology)
巻： 7  号： 1  ページ： 606-607  発行年： 1970年 
JST資料番号： C0789A  ISSN： 0022-5355  CODEN： JVSTAL  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ロータリポンプおよび油拡散ポンプを使用した当初の真空ロックを使ったマススペクトロメータではコンタミネーションの影響が見られた。したがって機構を若干改良し,さらに液体窒素を使用した収着ポンプとイオンゲッタポンプを使用するように改良した。これらの構造および性能について述べた;写図4参2

シソーラス用語： 質量分析計 ,  真空ポンプ
準シソーラス用語： 質量分析器 ,  真空ロック

タイトルに関連する用語 (3件)： 真空 ,  ロック ,  吸着