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J-GLOBAL ID：201602009832543904   整理番号：71A0370730

金蒸着膜の熱膨張

著者 (3件)： 菅原秀明 (東大(工)) ,  長野豊和 (東大(工)) ,  金原粲 (東大(工))
資料名： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻： 14  号： 7  ページ： 260-263  発行年： 1971年 
JST資料番号： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA   資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN) 

抄録/ポイント： 熱処理を施さず室温で基板からはく離した単独の金蒸着膜の熱膨脹を,直接長さの変化を観察する方法で測定した.膜の厚さは8,000~1,450Å,測定温度は室温から300°Cまで.約250°C以下の温度領域では熱膨脹係数はバルクの値とほとんど差がないが,薄い膜ほど低い温度で膜に異常を生じ加熱とともに不可逆的な収縮を生ずることがわかった.しかしDebye-Scherrer法で測定された格子定数は加熱によって変化しない.またX線の回折線の拡りから膜厚が小さくなるほど結晶粒が細かくなり,加熱による不可逆変化の後では結晶粒の成長が見られることが推定された.以上の結果から膜の結晶構造および格子定数はバルクと同じであり,収縮は結晶粒界の消滅によることを結論した:参15

引用文献 (15件)：

• (1) K. L. Chopra : Thin Film Phenomena (McGraw-Hill Company, New York, 1969)
• (2) I. N. Shklyarevskii, R. G. Yarovaya, V. P. Kostyuk and L. G. Lelyuk : Opt. Specttrosck 20 (1966) 594.
• (3) H. S. Story and R. W. Hoffman : Proc. Phys. Soc. London 8 70 (1957) 950
• (4) A. D. Dorey and J. Knight : Thin Solid Films 4 (1969) 445.
• (5) P. Chauvineau, P. Croce, G. Devant and M. F. Verhaegle : J. Vac. Sci. Tech. 6 (1969) 776.

タイトルに関連する用語 (3件)： 金 ,  蒸着膜 ,  熱膨張