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J-GLOBAL ID：201602017860723368   整理番号：65A0169729

薄膜の低電圧電子ビーム加工実験

Experiments on the lovvoltage machining of thinfilms

著者 (1件)： MILLARD P A
資料名： Microelectron Reliab  (Electronics Reliability & Microminiaturization)
巻： 4  号： 1  ページ： 25-29,261-263  発行年： 1965年 
JST資料番号： C0530A  ISSN： 0026-2714  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR) 

抄録/ポイント： 最大20kV電子ビームを用いて,マイクロ回路に広く使用されている金属や,一般材料の加工技術を研究。パイレックス,アルミナには電子ビーム加工は適するが,ソーダガラスやタンタルには適さない。パイレックスの加工機構では薄膜から材料が除かれるのではなく,再分布が薄膜の表面で起ると考えた。一般に原子量の軽い金属は,重い金属より加工が容易。電子ビーム加工の際,ニッケルクロム合金,金,銅,マグネシウム,タンタルの物理的構造におよぼす影響を充分に考慮しなければいけない;写6図2

タイトルに関連する用語 (4件)： 薄膜 ,  低電圧 ,  電子ビーム加工 ,  実験