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J-GLOBAL ID：201602201564408258   整理番号：16A0256031

イオン液体をデザインする-多機能化への挑戦-イオン液体をゲート絶縁膜として用いた高信頼性IGZO-TFTの開発

著者 (4件)： 石河泰明 (奈良先端科学技術大学院大) ,  藤井茉美 (奈良先端科学技術大学院大) ,  小野新平 (電力中央研 材料科研) ,  浦岡行治 (奈良先端科学技術大学院大)
資料名： 機能材料  (Function & Materials)
巻： 36  号： 3  ページ： 36-42  発行年： 2016年03月05日 
JST資料番号： Y0021A  ISSN： 0286-4835  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： イオン液体をトランジスタのゲート絶縁膜に利用すると,電気二重層が自己組織化的に形成される。この効果をトランジスタに利用すると,低電圧駆動(低消費電力化)が実現される。本稿では,低電圧駆動が必要なInGaZnO(IGZO)薄膜トランジスタに対してイオン液体ゲートを導入し,デバイス特性および信頼性特性への効果について紹介する。(著者抄録)

シソーラス用語： *薄膜トランジスタ ,  *絶縁膜 ,  *誘電体薄膜 ,  *イオン液体 ,  ガリウム化合物 ,  亜鉛化合物 ,  酸化インジウム ,  半導体薄膜 ,  *電気二重層 ,  *MIS構造 ,  自己組織化 ,  電流電圧特性 ,  信頼性 ,  機能 ,  絶縁材料 ,  *ゲート絶縁膜 ,  絶縁体 ,  酸化インジウム・ガリウム・亜鉛
準シソーラス用語： IGZO【半導体】 ,  多機能

分類 (3件)： トランジスタ  (NC03070N) ,  融解塩  (CB05050R) ,  絶縁材料  (NA04030W)

タイトルに関連する用語 (8件)： イオン液体 ,  デザイン ,  多機能 ,  ゲート絶縁膜 ,  高信頼性 ,  IGZO ,  TFT ,  開発