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J-GLOBAL ID：201602201792751507   整理番号：16A0003078

微小径ロータリエンコーダ用グレーティングディスクの開発(ナノ・マシニング手法を用いた放射格子溝の試作)

著者 (5件)： 黒河周平 (九大) ,  CHA Hyomin (九大 大学院) ,  梅崎洋二 (九大) ,  松川洋二 (九大) ,  土肥俊郎 (九大)
資料名： 日本機械学会九州支部講演会講演論文集  (日本機械学会九州支部講演論文集)
巻： 2012  ページ： 141-142  発行年： 2012年09月29日 
JST資料番号： L0149C  ISSN： 2424-2780  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： センサ ,  回転角 ,  小口径 ,  回折格子 ,  試作 ,  円板 ,  歯車 ,  動力伝動 ,  *測定精度 ,  *電子ビームリソグラフィー ,  ウエハ【IC】 ,  ドライエッチング
準シソーラス用語： *ロータリーエンコーダ ,  微小径 ,  *グレーティングディスク ,  *放射格子溝 ,  *マイクロ歯車 ,  *伝達誤差 ,  シリコン基板

分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (10件)： 小径 ,  ロータリエンコーダ ,  グレーティング ,  ディスク ,  開発 ,  マシニング ,  手法 ,  放射 ,  格子 ,  試作