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J-GLOBAL ID：201602201985400612   整理番号：16A0058434

in situ摩擦試験中のボロンドープ超ナノ結晶ダイヤモンド系MEMSの側壁上の炭素系保護層の観察

Observation of a carbon-based protective layer on the sidewalls of boron doped ultrananocrystalline diamond-based MEMS during in situ tribotests

著者 (6件)： BUJA Federico (TU Delft, Delft, NLD) ,  KOKORIAN Jaap (TU Delft, Delft, NLD) ,  GULOTTY Richard (Argonne National Lab., IL, USA) ,  SUMANT Anirudha V (Argonne National Lab., IL, USA) ,  VAN SPENGEN W Merlijn (TU Delft, Delft, NLD) ,  VAN SPENGEN W Merlijn (Falco Systems, Amsterdam, NLD)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 25  号： 12  ページ： 125020,1-15  発行年： 2015年12月16日 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノ技術やマイクロ技術において,複雑な動作をするデバイスの開発にはそれらの接触面の摩擦現象の理解が必要である。本稿では,ボロンドープ超ナノ結晶ダイヤモンド(U-UNCD)を構造材料として,二つのB-UNCD側壁表面が高湿度雰囲気および乾燥雰囲気で相互滑りを行うときの摩擦面をRaman分光法と走査電子顕微鏡により観察を行った。その結果,高湿度雰囲気でも乾燥雰囲気でも,滑り界面に超薄保護層が形成されることが分かった。そして,この保護層が形成されるとほとんど摩耗が見られず,長期にわたり測定できる摩耗が見られなかった。この結果から,B-UNCDはMEMSの摩耗による信頼性問題を克服できる優れた材料であることが分かった。

シソーラス用語： *摩擦試験 ,  ダイヤモンド ,  ナノ結晶 ,  *保護膜 ,  信頼性 ,  *摩耗
準シソーラス用語： ボロンドープダイヤモンド ,  保護層

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： 摩擦試験 ,  ナノ結晶ダイヤモンド ,  MEMS ,  側壁 ,  炭素 ,  保護層 ,  観察