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J-GLOBAL ID：201602201987043760   整理番号：16A0014488

FESEM局所変形場評価によるナノ薄膜の高ひずみ塑性特性評価法の開発

著者 (4件)： 田村拓 (大阪大 大学院) ,  近藤俊之 (大阪大) ,  平方寛之 (大阪大) ,  箕島弘二 (大阪大)
資料名： 日本機械学会関西支部定時総会講演会講演論文集  (日本機械学会関西支部定時総会講演会講演概要集)
巻： 90th  ページ： 300  発行年： 2015年03月16日 
JST資料番号： L0014A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 金属薄膜の高ひずみ塑性特性評価法の開発を目的とする。膜厚約500nmの自立銅ナノ薄膜に切欠きを導入することで制御された応力集中部を創成し,その応力集中部における局所変形場を,その場電界放射型走査電子顕微鏡観察引張試験と,デジタル画像相関法によって取得した。その結果,単軸引張試験では破断ひずみが約1%であるのに対して,本手法では切欠き底近傍におけるひずみが1%を大きく超える変形場を取得できた。本結果を基に,局所変形場を再現するナノ薄膜の弾塑性構成式を,有限要素法解析で推定した。(著者抄録)

シソーラス用語： *ナノ構造 ,  *超薄膜 ,  *金属薄膜 ,  *塑性歪 ,  *キャラクタリゼーション ,  応力集中 ,  変形 ,  走査電子顕微鏡 ,  電界放出 ,  引張試験 ,  その場観察 ,  ディジタル画像 ,  変位測定 ,  破壊 ,  構成方程式 ,  数値解析 ,  *ナノシート
準シソーラス用語： *ナノ薄膜 ,  *自立膜 ,  *高ひずみ塑性 ,  局所変形 ,  変形場 ,  FE-SEM ,  ディジタル画像相関法 ,  破断歪 ,  弾塑性構成式 ,  有限要素法解析

分類 (2件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  金属の機械的性質  (BL01022T)

タイトルに関連する用語 (8件)： FESEM ,  局所変形 ,  評価 ,  ナノ薄膜 ,  ひずみ ,  塑性 ,  特性評価 ,  開発