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J-GLOBAL ID：201602203158305041   整理番号：16A0018987

紡糸多層カーボンナノチューブから酸素プラズマにより変換した開裂ナノチューブシート膜

Unzipped Nanotube Sheet Films Converted from Spun Multi-Walled Carbon Nanotubes by O₂ Plasma

著者 (5件)： JANGR Hoon-Sik (DADA Korea Co., Ltd., Daegu, KOR) ,  JEON Sang Koo (Korea Res. Inst. Standards and Sci., Daejeon, KOR) ,  SHIM Dae Seob (Cheil Ind. INC., Gyeonggi-Do, KOR) ,  LEE Nam Hee (KAIST, Daejeon, KOR) ,  NAHM Seung Hoon (Korea Res. Inst. Standards and Sci., Daejeon, KOR)
資料名： Journal of Nanoscience and Nanotechnology  (Journal of Nanoscience and Nanotechnology)
巻： 15  号： 11  ページ： 9071-9076  発行年： 2015年11月 
JST資料番号： W1351A  ISSN： 1533-4880  CODEN： JNNOAR  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： SiO₂ウエハ上に厚み5nmの鉄薄膜を電子ビーム蒸着し,紡糸可能な多層カーボンナノチューブ(MWCNT)を化学蒸着により成長させた。酸素プラズマエッチングによりMWCNTのナノチューブを開裂し,ネットワーク状のグラフェンナノリボンシート膜を作製した。続いて,基板上に十分に垂直に整列したMWCNTからMWCNTを連続して引抜いて紡糸MWCNT膜を作製した。紡糸したMWCNT膜を酸素プラズマでエッチングすると,電気抵抗率が僅かに低下し,光透過率が有意に上昇した。

シソーラス用語： プラズマ ,  二酸化ケイ素 ,  *多層カーボンナノチューブ ,  化学蒸着 ,  電子ビーム蒸着 ,  *プラズマエッチング ,  *電気抵抗率 ,  透過率 ,  電子顕微鏡観察 ,  ナノ構造 ,  リボン結晶
準シソーラス用語： グラフェンナノリボン ,  開裂 ,  光透過率 ,  酸素プラズマ

分類 (1件)： 炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (5件)： 紡糸 ,  多層カーボンナノチューブ ,  酸素プラズマ ,  開裂 ,  ナノチューブ