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J-GLOBAL ID：201602206714680972   整理番号：16A0187380

SEMで行った測定に関するナノマニュファクチャリング懸案事項 IV: 帯電とその軽減

Nanomanufacturing Concerns about Measurements Made in the SEM Part IV: Charging and its Mitigation

著者 (2件)： POSTEK Michael T. (National Inst. Standards and Technol., MD, USA) ,  VLADAR Andras E. (National Inst. Standards and Technol., MD, USA)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 9556  ページ： 95560Q.1-95560Q.11  発行年： 2015年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 解説  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 走査型粒子ビーム機器における測定不確実性の様々な原因及びNISTその他の研究所で研究され開発された幾つかの解決策を論じた一連の解説論文の第4部である。走査型粒子ビーム機器,特に走査電子顕微鏡(SEM)は様々な分野で不可欠な装置である。SEMは性能向上と共に,取扱も簡単になり高価な「ディジタルカメラ」の感覚で使用できる。それにより,観察した全てが常に正しいと思われ易い。しかし,本論文及びこれ迄の論文で述べたように,これは正しくない。本論文では,試料の「帯電」とその軽減に関係する問題を,寸法計測の観点から取扱った。

シソーラス用語： *走査電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察 ,  ナノメータ加工 ,  *帯電 ,  キャリブレーション ,  計測 ,  モデリング ,  標準物質 ,  標準 ,  電子顕微鏡写真 ,  *不確実性
準シソーラス用語： 寸法計測学 ,  *測定不確実性

分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (3件)： SEM ,  ナノマニュファクチャリング ,  帯電