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J-GLOBAL ID：201602207890850040   整理番号：16A0310436

超薄膜水素センサの安定性の改善

著者 (6件)： 古川遼 (岡山大) ,  井並祥太 (岡山大) ,  菅井良祐 (岡山大) ,  堺健司 (岡山大) ,  紀和利彦 (岡山大) ,  塚田啓二 (岡山大)
資料名： 電気学会全国大会講演論文集(CD-ROM)  (Annual Meeting Record, I.E.E. Japan (CD-ROM))
巻： 2016  ページ： ROMBUNNO.3-141  発行年： 2016年03月05日 
JST資料番号： S0653B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ガスセンサ ,  *安定性 ,  *超薄膜 ,  チタン化合物 ,  窒化物 ,  反応速度 ,  パルス電流 ,  *水素センサ ,  接着層 ,  窒化チタン
準シソーラス用語： 回復時間

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (3件)： 超薄膜 ,  水素センサ ,  安定性