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J-GLOBAL ID：201602210933757767   整理番号：16A0024108

組成制御したLiCoO₂エピタクシー薄膜のパルスレーザ蒸着による成長

Composition controlled LiCoO₂ epitaxial thin film growth by pulsed laser deposition

著者 (3件)： OHNISHI Tsuyoshi (National Inst. Materials Sci. (NIMS), Ibaraki, JPN) ,  NISHIO Kazunori (National Inst. Materials Sci. (NIMS), Ibaraki, JPN) ,  TAKADA Kazunori (National Inst. Materials Sci. (NIMS), Ibaraki, JPN)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 9364  ページ： 93640L.1-93640L.9  発行年： 2015年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： パルスレーザ蒸着(PLD)を用いてLiCoO₂薄膜を成長させた。PLDではターゲットと膜の間のカチオン組成のずれが比較的小さいが,ずれはアブレーションレーザの条件に依存し,薄膜の品質に大きく影響する。本研究では,Li濃縮LiCoO₂ターゲットを用い,組成を制御して化学量論組成のLiCoO₂薄膜を高速でエピタキシャル成長させた。成長させた薄膜の結晶度,配向,厚みをX線回折により評価した。表面結晶度と平坦度はその場RHEEDにより監視した。膜厚は表面プロフィルメータにより確認した。Li濃縮ターゲットから得た薄膜の結晶度と堆積速度は化学量論組成ターゲットから得た薄膜よりも優れていた。

シソーラス用語： 薄膜成長 ,  *パルスレーザ蒸着 ,  ターゲット ,  結晶度 ,  化学組成 ,  結晶方位 ,  X線回折 ,  堆積速度 ,  *コバルト酸塩 ,  *リチウム化合物 ,  リチウムイオン電池 ,  電極材料 ,  カソード ,  レーザビーム ,  フルエンス ,  分圧 ,  X線回折分析 ,  放電
準シソーラス用語： 化学量論組成 ,  *コバルト酸リチウム ,  レーザフルエンス ,  酸素分圧

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (5件)： 組成制御 ,  エピタクシー ,  薄膜 ,  パルスレーザ蒸着 ,  成長