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J-GLOBAL ID：201602211972307139   整理番号：16A0187026

放電で生成したプラズマベースの極端紫外光源と軟X線レーザ

Extreme ultraviolet light sources and soft x-ray laser based on discharge produced plasma

著者 (8件)： HOTTA Eiki (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  SAKAI Yusuke (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  HAYASHI Yasushi (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  NIIMI Gohta (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  HUANG Bin (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  ZHU Qiushi (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  SONG Inho (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  WATANABE Masato (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 9524  ページ： 95242U.1-95242U.8  発行年： 2015年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 次世代リソグラフィーへの展望を拓く目的で過去10年余極端紫外光源の開発が積極的に推進されている。その当初においてはXeキャピラリー放電生成プラズマから出発したが,キャピラリー無しのXeガス,次いで変換効率向上のためにレーザ支援スズ放電光源が試みられた。Ne類似のArに続いてH類似のNを電子衝突励起スキームで試みた。これらは水の窓を狙う開発である。

シソーラス用語： 真空紫外線 ,  *紫外光源 ,  *プラズマ ,  キセノン ,  *気体放電 ,  スズ ,  励起 ,  周波数領域 ,  *極端紫外線 ,  X線レーザ ,  窒素
準シソーラス用語： *キャピラリ放電 ,  水の窓 ,  電子衝突励起 ,  *軟X線レーザ ,  放電プラズマ ,  *極端紫外光源

分類 (2件)： 光源  (BD07020D) ,  気体放電  (BJ03020T)

タイトルに関連する用語 (4件)： 放電 ,  プラズマ ,  極端紫外光源 ,  軟X線レーザ