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J-GLOBAL ID:201602212322388432   整理番号:16A0332605

ナノクリスタルセラミックス技術の深化 大面積の酸化物/有機物積層膜の作製

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資料名:
巻: 51  号:ページ: 221-222  発行年: 2016年04月01日 
JST資料番号: S0291A  ISSN: 0009-031X  CODEN: SERAA7  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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ナノクリスタルは,従来の電子セラミックで用いる微粉末とは異なり,結晶の質のみならず,形状とサイズがよく制御されているため,究極にはナノクリスタルを無加熱で高密度に集積してさまざまなデバイスを形成できる可能性を持つ。本稿では,ナノクリスタルからなる大面積ナノ薄膜の作製とその積層に向けたアプローチを紹介する。本法の特徴は,液体表面での成膜と,膜と液体の界面への浸透による「その場」積層にある。1)薄膜積層の現状と課題:積層セラミックコンデンサ(MLCC)の誘電体膜の積層における課題(薄層化,大型化),2)薄層化と積層の新しいアプローチ:高濃度ゾル-ゲル法を用いたナノクリスタルの作製,剥離が容易な液体表面で成膜し,強度の高い有機高分子を膜と液体の界面に展開して積層,3)BaTiO3ゲル/PLA積層膜。
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分類 (2件):
分類
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セラミック・陶磁器の製造  ,  セラミック・磁器の性質 
タイトルに関連する用語 (5件):
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