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J-GLOBAL ID：201602212629649297   整理番号：16A1299350

磁場-パルスプラズマ援用化学気相成長法における環境セル用a-SiCN隔膜のパルスパラメータ依存性

著者 (3件)： 村野正典 (近畿大 大学院総合理工学研究科) ,  松谷貴臣 (近畿大 大学院総合理工学研究科) ,  川崎忠寛 (近畿大 大学院総合理工学研究科)
資料名： 電気関係学会関西連合大会講演論文集(CD-ROM)
巻： 2016  ページ： ROMBUNNO.G6-8  発行年： 2016年11月07日 
JST資料番号： L2273B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *透過型電子顕微鏡 ,...
準シソーラス用語： *透過電子顕微鏡 ,...

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分類 (2件)： 生体の顕微鏡観察法  (EA03050C) ,  顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (9件)： 磁場 ,  パルスプラズマ ,  援用 ,  化学気相成長法 ,  環境 ,  セル ,  隔膜 ,  パルス ,  パラメータ依存性