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J-GLOBAL ID：201602212702656286   整理番号：16A0090485

Si太陽電池用Al₂O₃光反射防止・パッシベーション膜の試作と評価

著者 (6件)： 田中昂 (山形大 大学院理工学研究科) ,  鹿又健作 (山形大 大学院理工学研究科) ,  三浦正範 (山形大 大学院理工学研究科) ,  有馬ボシールアハンマド (山形大 大学院理工学研究科) ,  久保田繁 (山形大 大学院理工学研究科) ,  廣瀬文彦 (山形大 大学院理工学研究科)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 115  号： 297(CPM2015 83-102)  ページ： 63-66  発行年： 2015年10月30日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 酸化アルミニウムは高屈折率でSi太陽電池において,反射防止膜として活用されるほか,内部の固定電荷によるキャリア再結合防止効果が言われている。しかし,高発電効率を目指す上で,光反射を最小にして,かつ,高いパッシベーション効果を得るための,膜厚設定法や構造設計が確立していない状況である。本研究では,実際にSi上にスパッタ法を用いてAl₂O₃膜をコートし,光反射防止効果を調べたうえで,少数キャリア寿命評価を基に再結合防止効果を調べた。(著者抄録)

シソーラス用語： *太陽電池 ,  不動態化 ,  スパッタリング ,  *アルミナ ,  キャリア再結合 ,  短絡電流
準シソーラス用語： *シリコン太陽電池 ,  パッシベーション ,  スパッタ法 ,  *Al2O3

分類 (1件)： 太陽電池  (NC03084O)

タイトルに関連する用語 (7件)： Si ,  太陽電池 ,  Al2O3 ,  光反射 ,  パッシベーション膜 ,  試作 ,  評価