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J-GLOBAL ID：201602212886853208   整理番号：16A0186997

微小格子再構築のための三次元全フィールド表面形状測定用の光学的超解像法

Optical superresolution methodology for 3-D full field surface profilometry to reconstruction of micro gratings

著者 (6件)： CHEN Liang-Chia (National Taiwan Univ., Taipei, TWN) ,  CHEN Liang-Chia (National Taipei Univ. Technol., TWN) ,  HAI Hoang Hong (National Taipei Univ. Technol., TWN) ,  LIN Shyh-Tsong (National Taipei Univ. Technol., Taipei, TWN) ,  FAN Kuang-Chao (National Taiwan Univ., Taipei, TWN) ,  KULIKOV Rodion V. (Technological Design Inst. Scientific Instrument Engineering (TDI SIE), Russian Acad. Sci.)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 9524  ページ： 952421.1-952421.8  発行年： 2015年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 微小格子の計測技術は微小格子の最適設計と製作にとって極めて重要である。本論文では,Limnik白色光干渉測定法とナノシフトレーザ焦点検出法を組合せた二重検知法を示した。格子端の正確な横方向位置は全エネルギー反射により検出した。格子の全フィールド三次元表面トポグラフィーは白色光位相シフト干渉測定法により測定した。格子端への集光Gaussビーム回折の理論シミュレーションは,格子端をナノ規模分解能で検出できる可能性を示唆した。予備実験では,微小空洞のエッジ検出と微小線幅測定の標準偏差は40nm以下であった。ステップの高さ測定の標準偏差は22nmであった。

シソーラス用語： 回折格子 ,  *形状測定 ,  *超解像 ,  干渉測定 ,  位相シフト ,  Gaussビーム ,  計算機シミュレーション ,  エッジ検出
準シソーラス用語： *微小格子 ,  *三次元形状測定 ,  回折限界

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (7件)： 微小 ,  格子 ,  再構築 ,  フィールド ,  表面形状測定 ,  光学 ,  超解像