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J-GLOBAL ID：201602213223723110   整理番号：16A0178777

真空技術のコツ

Tips for basic vacuum science and technology

著者 (1件)： 市村正也 (名古屋工大)
資料名： 応用物理  (JSAP International)
巻： 85  号： 1  ページ： 49-52  発行年： 2016年01月10日 
JST資料番号： F0252A  ISSN： 0369-8009  CODEN： OYBSA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 真空技術とは気体を扱う技術であることを説明し,気体分子の運動について簡単に解説します。それから,代表的な真空ポンプ(油回転ポンプ,ターボ分子ポンプ,クライオポンプ)について,動作原理と使用上注意すべきことを述べます。(著者抄録)

シソーラス用語： *真空技術 ,  *分子 ,  *真空ポンプ ,  *気体分子

分類 (2件)： 真空技術  (BA02020L) ,  真空ポンプ  (QD04030I)

引用文献 (2件)：

• 真空技術基礎講習会運営委員会:わかりやすい真空技術 第3版(日刊工業新聞社,2010).
• M. Ichimura: J. Vac. Soc. Jpn. 58, 273 (2015).

タイトルに関連する用語 (1件)： 真空技術