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J-GLOBAL ID：201602214057395882   整理番号：16A0133015

共鳴吸収端付近の斜入射極端紫外線リフレクトメトリを用いた多層膜ミラー内の埋込み界面の解析

Analysis of buried interfaces in multilayer mirrors using grazing incidence extreme ultraviolet reflectometry near resonance edges

著者 (11件)： SERTSU M. G. (Univ. Padova, Padova, ITA) ,  SERTSU M. G. (IFN UOS Padova, CNR, Padova, ITA) ,  SERTSU M. G. (RWTH Aachen Univ., Aachen, DEU) ,  NARDELLO M. (IFN UOS Padova, CNR, Padova, ITA) ,  NARDELLO M. (Univ. Padova, Padova, ITA) ,  GIGLIA A. (Istituto Officina Materiali, CNR, Trieste, ITA) ,  CORSO A. J. (IFN UOS Padova, CNR, Padova, ITA) ,  MAURIZIO C. (Univ. Padova, Padova, ITA) ,  JUSCHKIN L. (RWTH Aachen Univ., Aachen, DEU) ,  NICOLOSI P. (Univ. Padova, Padova, ITA) ,  NICOLOSI P. (IFN UOS Padova, CNR, Padova, ITA)
資料名： Applied Optics  (Applied Optics)
巻： 54  号： 35  ページ： 10351-10358  発行年： 2015年12月10日 
JST資料番号： B0026B  ISSN： 1559-128X  CODEN： APOPAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *反射鏡 ,  多層膜 ,  界面 ,  埋込み【挿入】 ,  電磁場解析 ,  反射率 ,  *光学的測定 ,  極端紫外線 ,  入射 ,  共鳴吸収 ,  吸収端 ,  相互拡散 ,  化学組成 ,  非破壊検査 ,  光学定数
準シソーラス用語： *光リフレクトメトリ ,  斜め入射 ,  *多層膜ミラー

分類 (2件)： 光デバイス一般  (BD06010L) ,  屈折及び反射の測定と装置  (BD07060V)

タイトルに関連する用語 (9件)： 共鳴 ,  吸収端 ,  斜入射 ,  極端紫外線 ,  リフレクトメトリ ,  多層膜ミラー ,  埋込み ,  界面 ,  解析