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J-GLOBAL ID：201602214075984372   整理番号：16A0310156

磁場-パルスプラズマ援用化学気相成長法により作製した環境セル型透過電子顕微鏡用a-SiCN隔膜への窒素プラズマ照射効果

著者 (4件)： 松谷貴臣 (近畿大) ,  村野正典 (近畿大) ,  山崎佳代 (近畿大) ,  川崎忠寛 (ファインセラミックスセ)
資料名： 電気学会全国大会講演論文集(CD-ROM)  (Annual Meeting Record, I.E.E. Japan (CD-ROM))
巻： 2016  ページ： ROMBUNNO.1-176  発行年： 2016年03月05日 
JST資料番号： S0653B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *透過型電子顕微鏡 ,  化学蒸着 ,  プラズマ ,  *照射 ,  *隔膜
準シソーラス用語： 照射効果 ,  化学気相成長法 ,  窒素プラズマ ,  *窒素プラズマ照射 ,  *a-SiCN隔膜

分類 (1件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

タイトルに関連する用語 (11件)： 磁場 ,  パルスプラズマ ,  援用 ,  化学気相成長法 ,  作製 ,  環境 ,  セル ,  透過電子顕微鏡 ,  隔膜 ,  窒素プラズマ ,  照射効果