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J-GLOBAL ID：201602214781887622   整理番号：16A0131299

大面積超薄ポリジメチルシロキサンメンブレンの材料キャラクタリゼーションと移動

Material Characterization and Transfer of Large-Area Ultra-Thin Polydimethylsiloxane Membranes

著者 (4件)： GAO Jinsheng (Carnegie Mellon Univ., PA, USA) ,  GUO Dongzhi (Carnegie Mellon Univ., PA, USA) ,  SANTHANAM Suresh (Carnegie Mellon Univ., PA, USA) ,  FEDDER Gary K. (Carnegie Mellon Univ., PA, USA)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 24  号： 6  ページ： 2170-2177  発行年： 2015年12月 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ポリジメチルシロキサン(PDMS)はYoung率が小さく基板への密着が強いので20μm以下の薄膜を作るのが難しく,そのために厚さ20μm以下のPDMSの機械的特性が報告されていない。ヘキサン希釈プロセスとゼラチンリリース層で1~20μm厚のPDMS膜が制作可能となり,薄膜の機械的特性測定が可能になった。プロセス依存および厚さに依存するPDMSメンブレンの機械特性を調べると,厚さ1μmPDMSのYoung率は0.5mm厚のPDMSの10倍大きく,厚さに対してべき乗則の関係を持っていた。1μm以下の膜では更に大きなYoung率が期待される。メタル蒸着やRIEのようなプロセスを加えると,クロスリンクの増加と表面硬化によってPDMSの剛性は20~70%増加する。

シソーラス用語： MEMS ,  *ポリジメチルシロキサン ,  *高分子薄膜 ,  微細加工 ,  特性 ,  Young率 ,  密着性 ,  *機械的性質
準シソーラス用語： PDMS【重合体】 ,  ポリマー薄膜 ,  材料特性

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： 大面積 ,  キャラクタリゼーション